其研究范畴涉及材料科学、机械控制、加工与封装工艺、电子技术以及传感器和执行器等多种学科，是一个---前景的新兴研究领域。mems的---是研究微电子与微机械加工与封装技术的巧妙结合，期望能够由此而制造出体积小巧但功能---的新型系统。

经过几十年的发展，尤其近十多年的研究与发展，mems技术已经显示出了---的生命力，此项技术的有效采用将信息系统的微型化、智能化、多功能化和---性水平提高到了一个新的高度。

厦门中技创机电技术有限公司是工业自动化系统成套解决方案的提供者，致力于各类工业传动自动化领域的系统控制、软件开发、电气驱动、机械传动、传感应用、深得客户的---和长期支持。

要用实际使用流体校准

液体流量仪表一般用水校准，气体用空气校准。若知道实际测量流体与校准流体间某些物性不同对示值有规律变化时，中大管径流量仪表常以适当系数修正。但有些小流量仪表受黏度等流体物性影响大，须以实际使用流体校准。

超声流量计。

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超声流量计在大口径管路的流量测量中占有重要---，原因如下。

a.超声流量计中的夹装式，其价格与口径无关，用来测量大口径管路流量，投资较省。流量仪表流---道要尽可能简单，不应有潴留（指液体在体内不正常地---停留）部位，防止潴留介---质。超声流量计能得到的测量精que度同管径有关，管径越大，有可能得到的精que度越高。有的供应商能提供带测量管的多声道时差式超声流量计，精que度高可达o.15级，但价格也相应升高。